来源： 作者： 发布时间：2020-05-22

 “电子特种气体(下称‘电子特气’)行业的关键不在于产能多少，而在于技术高低。99.9999%纯度的电子特气价格可能是99.99%纯度的10多倍。”在5月20日的年度股东大会上，凯美特气董事长祝恩福向上证报记者表示。

　　“目前，电子特气项目已经进入试生产阶段，技术达到国际水准。我们正与国际大厂等接触，抓紧推进多个认证程序。”祝恩福介绍称。

　　随着项目的逐渐落地，电子特气正成为凯美特气的新亮点。

　　资料显示，电子特气是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑原材料，主要应用于半导体行业，涉及电子、激光、医药、航天卫星、军工等领域。

　　祝恩福介绍称，芯片制造过程要使用100多种气体、5000多道工序，芯片制造所使用的电子特气可称之为芯片的血液。中国的电子特气有八成以上依赖进口，特别高端气体全部依赖进口。

　　2018年，凯美特气成立了岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司，该项目一期达到预估销售量时，年平均利润总额为7339万元。

　　凯美特气表示，电子特气项目通过近两年的建设已全部完成，并且拿到了相关的试生产许可证，目前正在做相关的产品认证。“项目的相关产品不存在研发问题，我们是和国际顶尖的电子特气团队合资的相关技术，也是目前全球最高标准，主要是针对芯片制造商的气体供应。”

　　“电子特气的技术门槛非常高。”祝恩福表示，半导体制造过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积、扩散等要使用大量的电子特气，电子特气的纯度对芯片质量影响非常大。

　　在年度股东大会上，祝恩福表示，凯美特气电子特气技术团队先后攻克容器清洗、气体提纯、气体混配等关键课题，将样品资料送往国际大厂，因认证需要三个过程，公司启动多个认证程序。认证过程需要很多准备工作并耗费很大的资源和精力，疫情影响了认证进度，公司后续会抓紧认证进程。“公司电子特气技术团队国外专家通过远程进行指导与培训，不受疫情影响。”祝恩福表示。